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單靶磁控光纖繞絲濺射鍍膜儀，專(zhuān)用于光纖制備薄膜,采用不銹鋼高真空腔體，配有帶擋板的觀察窗，可以觀察鍍膜過(guò)程，擋板則能有效防止觀察窗被膜層遮蔽，便于實(shí)驗(yàn)的觀察記錄。腔體上頂開(kāi)式設(shè)計(jì)開(kāi)啟方便，易于清理，十分適合實(shí)驗(yàn)室使用。整機(jī)采用模塊化設(shè)計(jì)，操作邏輯簡(jiǎn)單，操作界面直觀，利于上手.
光纖鍍膜儀技術(shù)參數(shù):
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產(chǎn)品型號(hào) |
CY-MSZ180-I-DC-SS |
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供電電壓 |
AC220V，50Hz |
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整機(jī)功率 |
2kw |
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繞絲機(jī)構(gòu) |
尺寸 |
Φ15mmx245mm |
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繞絲速度 |
1-300r/min |
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磁控濺射頭 |
數(shù)量 |
2 英寸x1 |
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冷卻方式 |
水冷 |
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真空腔體 |
腔體尺寸 |
Φ213mm X 307mm |
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觀察窗口 |
φ80mm |
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開(kāi)啟方式 |
上頂開(kāi)式、左側(cè)開(kāi)式 |
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腔體材料 |
不銹鋼 304 |
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電源配置 |
直流電源數(shù)量 |
1 臺(tái) |
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輸出功率 |
≤300W |
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匹配方式 |
自動(dòng)匹配 |
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水冷系統(tǒng) |
水箱容積 |
9L |
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流量 |
10L/min |
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供氣系統(tǒng) |
類(lèi)型 |
手動(dòng)微量調(diào)節(jié)閥 |
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真空系統(tǒng) |
前級(jí)泵 |
雙極旋片泵 |
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抽速 |
1.1L/s |
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次級(jí)泵 |
渦輪分子泵 |
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抽速 |
60L/s |
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抽氣口 |
ISO63 |
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出氣口 |
KF16 |
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真空計(jì) |
復(fù)合真空計(jì) |
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