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等離子清洗機(jī)(plasma cleaner),是一種全新的高科技技術(shù),利用等離子體來(lái)達(dá)到常規(guī)清洗方法無(wú)法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài),并不屬于常見(jiàn)的固液氣三態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清潔機(jī)就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面,從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的。
10L等離子清洗機(jī)除了具有清洗功能外,在特定條件下還可根據(jù)需要改變某些材料表面的性能,在清洗過(guò)程中,小型等離子清洗機(jī)的輝光放電可以加強(qiáng)這些材料的粘附性、相容性和浸潤(rùn)性。
這款等離子清洗機(jī)適合于實(shí)驗(yàn)室和小型生產(chǎn)。采用13.56Mhz的射頻電源,能夠用來(lái)匹配各種常用氣體的等離子體。射頻電源的功率從100W到1000W之間有多種常用規(guī)格可供選配,能夠滿足用戶的多樣化需求。
10L等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù):
主要部件 |
指標(biāo)名稱 |
參數(shù)指標(biāo) |
清洗倉(cāng)體 |
清洗倉(cāng)材質(zhì) |
高純石英 |
清洗倉(cāng)尺寸 |
直徑230mm;長(zhǎng)度350mm |
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射頻電源 |
電源特性 |
該電源為全固態(tài)射頻電源,采用高穩(wěn)定高可靠的功放模塊和直流模塊,有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質(zhì)量的電子元器件,使產(chǎn)品的可靠性得以保證。 |
電源優(yōu)勢(shì) |
●可長(zhǎng)時(shí)間正常運(yùn)行
● 電源效率高、發(fā)熱少 |
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射頻功率 |
0~500W連續(xù)可調(diào)/0~1000W連續(xù)可調(diào) |
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信號(hào)頻率 |
13.56MHz ±0.005% |
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反射功率 |
≤200W |
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功率穩(wěn)定度 |
±0.1% |
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射頻接頭 |
N型頭 |
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整機(jī)效率 |
≥75% |
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諧波分量 |
≤-50 dBc |
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冷卻方式 |
強(qiáng)制風(fēng)冷 |
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氣體測(cè)量 |
測(cè)量部件 |
浮子流量計(jì) |
氣體通道 |
兩通道 |
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A通道量程 |
10~100ml |
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B通道量程 |
16~160ml |
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真空獲取 |
真空測(cè)量 |
數(shù)字真空計(jì)(電阻規(guī)) |
真空抽取 |
雙極旋片泵 |
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電機(jī)轉(zhuǎn)速 |
50Hz時(shí)為:1440;60Hz時(shí)為:1720。 |
|
抽氣速率 |
50Hz時(shí)為:1.1L/s;60Hz時(shí)為:1.3L/s。 |
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真空量程 |
1Pa~100000Pa |
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極限真空 |
1Pa |
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電機(jī)噪音 |
≤56dB |
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管道接口 |
進(jìn)氣口:KF16;排氣口KF16. |
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連接管道 |
KF16真空波紋管 |
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真空閥門 |
電磁閥 |
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電機(jī)功率 |
400W |
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其它 |
供電電源 |
AC220V 50/60Hz |
整機(jī)功率 |
1000W/1500W |
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使用溫度 |
-10℃ - 40℃ |
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工作真空 |
≤40Pa |
|
整機(jī)尺寸 |
670mm×670mm×600mm |
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整機(jī)重量 |
110kg |
10L等離子清洗機(jī)應(yīng)用領(lǐng)域:
金屬:去除金屬表面的油脂,油污等有機(jī)物及氧化層;
汽車制造:用于汽車制造過(guò)程中的塑料和噴漆前處理;
紡織品生產(chǎn):用于紡織品,濾網(wǎng)和薄膜的親水性,疏水性和表面改性處理;
生物醫(yī)療:培養(yǎng)皿提高活性,血管支架,注射器,導(dǎo)管和各種材料的親潤(rùn),交合涂覆前處理;
航空航天:絕緣材料,電子元件等表面涂覆前處理;
電子:線路板的清洗和蝕刻。膠片,PP等材料的無(wú)氧化和活化處理,改進(jìn)可焊性;
半導(dǎo)體行業(yè):晶圓加工及處理去除光刻膠,封裝前預(yù)處理;
LED:支架清洗封裝前預(yù)處理;
塑料橡膠:提高PS,PE,PTFE,TPE,POM,AS和PP等材料表面活性,使其利于粘接,印刷。
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